講演情報
[8p-N106-3]加工用70 WハイブリッドArFレーザ
〇小池 陸生1、五十嵐 裕紀1、盛合 靖章1、上場 康弘1、淵向 篤1、三浦 泰祐1 (1.ギガフォトン)
キーワード：
エキシマレーザー、DUV、レーザー加工
波長193nmの深紫外固体レーザと半導体露光用ArFエキシマレーザを組合わせることでパルス幅10ns、出力70WのハイブリッドArFレーザを開発したので報告する。ビーム品位の良い固体レーザを用いることで露光用ArFレーザと比較して M2値 が59から7.1と集光性能を8倍以上改善した。さらに固体レーザのパルス波形を成形することで、パルス幅0.7ns、パルス間隔3nsの4本のパルス列で構成されるバーストパルスを発生させて増幅し、45Wの出力を達成した。