講演情報
[8p-N106-9]フェムト秒レーザー直描によるTm:YAGセラミックスへの導波路作製と評価
〇秋山 由洸1、中川 耕太郎1、角田 明博2、中﨑 雅人2、小林 洋平1 (1.東大物性研、2.JX金属株式会社)
キーワード:
導波路、ツリウム、レーザー加工
波長2 µmのレーザー光源は、アイセーフ性や精密加工用途で注目されており、高出力・高効率化が求められている。Tm:YAGセラミックスは優れた利得媒質であり、本研究では3.0 at.% Tm添加YAGセラミックスにフェムト秒レーザー直描法を適用しクラッド型導波路を作製し,その特性を検討した。