講演情報
[8p-N202-18]OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査(2)
‐透過及び反射プロファイルに見られる導波路多重反射の定式化‐
〇堀川 剛1、西山 伸彦1,2 (1.東京科学大、2.PETRA)
キーワード：
シリコン導波路、OFDR、反射係数
OFDRによる光回路のインデプスプロファイルにおいて主反射信号に重畳して観測される導波路内分布反射による多重反射の定式化を行った。導かれた解析式により、シリコン細線導波路に対して観測されたOFDR透過及び反射プロファイルが再現できること、及び導波路の基本特性である分布反射係数が精度よく抽出できることを確認した。