講演情報
[8p-N204-9]トレンチ形成によるプラズモニック回折光の光閉じ込め効果の観測と評価
〇吉澤 裕輔1、上野山 聡1、田中 和典1、藤原 弘康1 (1.浜ホト中研)
キーワード：
プラズモニクス、ナノ回折、近赤外光検出器
近年、CMOSイメージセンサの高集積化や近赤外イメージングに対する需要の高まりに伴い、近赤外帯域における高感度化が期待されている。本報告では、プラズモニック回折構造を搭載したシリコンベースの光検出器において、画素間のトレンチによる光閉じ込め効果が近赤外帯域での感度向上に寄与することを示す。