講演情報
[8p-N301-6]光学特性向上を目的としたPorous AlGaN DBR上への赤色GaInN系量子殻のエピタキシャル成長
〇中川 碧1、Weifang Lu2、堀田 陽生1、高橋 拓也1、山田 航己1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1 (1.名城大学、2.厦門大学)
キーワード:
ナノピラミッド、Porous DBR、赤色GaInN系LED
本研究では、GaInN系赤色量子殻の狭線化を目的に、Porous DBR基板上への結晶成長を行った。良好な結晶性とCLパンクロマティック像では発光面積の拡大が確認され、CLスペクトルの半値全幅は80 nmから30 nmに低減し、強度は1.2倍に向上した。