講演情報

17:30 〜 17:45

[8p-N321-15]高濃度Bイオン注入ダイヤモンドの結晶性と電気特性に対する注入時基板温度の影響

〇星野靖¹、今村海哉¹、関裕平^1,2 (1.神奈川大理、2.北大院工)

イオン注入、ドーピング

我々は、高濃度の局所ドーピングをイオン注入により実現させるべく研究を進めてきた。本研究では、高濃度イオン注入ドーピングにおけるイオン注入時の基板温度が、ダイヤモンドの結晶性や電気特性に与える影響について、さらに詳細に追究した結果を報告する。