[8p-N322-1~17] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

15:00 〜 15:15

[8p-N322-5] AlGaN/GaNヘテロ構造のCL-PECエッチングと自己停止現象

〇塩澤 直生¹、勝又 十勝¹、岡野 陽樹¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：

AlGaN