[8p-N324-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

13:30 〜 13:45

[8p-N324-1] 卓上モノリシック3D-ICファブの提案

〇葉 文昌¹ (1.島根大総合理工)

キーワード：

シリコン、トランジスタ、レーザーアニール