[8p-N324-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

13:45 〜 14:00

[8p-N324-2] RF スパッタ成膜したInSb 薄膜の裏返しRTA の効果

〇清水 脩平¹、比嘉 辰志¹、野口 隆¹、梶原 隆司²、佐道 泰造²、岡田 竜弥¹ (1.琉球大学、2.九州大学)

キーワード：

InSb、RTA