[8p-N324-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

14:00 〜 14:15

[8p-N324-3] ポリイミド上InSb薄膜のRTA結晶化

〇比嘉 辰志¹、清水 脩平¹、野口 隆¹、梶原 隆司²、佐道 泰造²、岡田 竜弥¹ (1.琉球大、2.九州大)

キーワード：

InSb(インジウムアンチモン)、ポリイミド、結晶化