[8p-N324-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

15:15 〜 15:30奨励賞エントリー英語発表

[8p-N324-7] Characterization of Young’s Modulus Anisotropy in Single-Crystal Diamond

〇Zhaozong Zhang¹, Wen Zhao¹, Guo Chen¹, Satoshi Koizumi¹, Meiyong Liao¹ (1.NIMS)

キーワード：

diamond、MEMS、Young s modulus