[8p-N401-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

14:00 〜 14:15

[8p-N401-1] スパッタリング法によるSi(111)基板上高品質エピタキシャルGe層形成

〇奥田 太一¹、大田 晃生²、横川 凌^3,4、黒澤 昌志¹、坂下 満男¹、中塚 理^1,5、柴山 茂久¹ (1.名大院工、2.福岡大理、3.広大RISE、4.広大院先進理工、5.名大未来研)

キーワード：

ゲルマニウム、スパッタリング法