[8p-N401-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

16:30 〜 16:45

[8p-N401-11] 歪みSiGe/Geに形成されるクラック周辺の歪み分布評価

〇溝口 稜太¹、加藤 惠太郎¹、芝原 夕夏¹、相川 茉由¹、山田 道洋¹、浜屋 宏平^2,3,4、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大、2.阪大基礎工、3.阪大基礎工 CSRN、4.阪大 OTRI スピン)

キーワード：

シリコンゲルマニウム、クラック