[8p-N401-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

14:15 〜 14:30

[8p-N401-2] スパッタリング法によるSi(001)基板上への高Sn組成Ge_1−xSn_x層のヘテロエピタキシャル成長

〇後藤 幸作¹、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、黒澤 昌志¹、中塚 理^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：

半導体