[8p-N401-1~12] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[8p-N401-3] 極薄酸化膜ナノチャネルを用いたスパッタエピタキシーによるSi基板上GeSn薄膜の成長

〇石丸 賢昇¹、原 征大¹、小林 拓真¹、志村 考功^1,2、渡部 平司¹ (1.阪大院工、2.早大IPS)

キーワード：

GeSn単結晶薄膜、スパッタエピタキシー、フォトルミネッセンス