[8p-N403-1~15] CS.1 2.3 加速器技術・加速器質量分析・ビーム分析、7.4イオンビーム一般のコードシェアセッション

13:45 〜 14:00

[8p-N403-2] 反応性GCIB照射によるエッチング効果の基板温度依存性

〇(M2)伊藤 汰一¹、北中 晴也¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大学工)

キーワード：

ガスクラスターイオンビーム、クライオエッチング