講演情報
[8p-N403-3]固液界面観察に向けたX-ray PEEM高感度化の原理実証
─ GCIBで極薄化したSiNx膜の利用─
〇竹内 雅耶1、鈴木 哲2、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工、2.兵庫県大高度研)
キーワード：
ガスクラスターイオンビーム、窒化シリコン、光電子顕微鏡
本研究では、ガスクラスターイオンビーム（GCIB）により極薄化した窒化シリコン（SiNx）膜に対して、X線光電子顕微鏡（X-ray PEEM）を用いた高感度観察の原理実証を目指している。これは、液体セルを用いた液体観察を念頭に置いたものであり、現在までに極薄化を行っていないSiNx膜を用いた純水の観察には成功している。今後、GCIB処理による極薄化と組み合わせることで、さらなる感度向上を図る。