講演情報
[8p-P01-18]岐阜高専における実践的な微細加工による半導体教育の構築
〇羽渕 仁恵1、福永 哲也1、飯田 民夫1、白木 英二1 (1.岐阜高専)
キーワード：
半導体教育、微細加工、マスクレスフォトリソグラフィ
高専ではCOMPASS5.0事業として半導体人材の育成を推進している。我々のグループは、科研費・基盤研究(C)に採択された「高専における実践的な微細加工による半導体教育の構築と普及に向けたアプローチ」という研究課題のもと岐阜高専で実践的な半導体教育の展開を予定している。本発表では、この取り組みの概要と具体的な実践例を紹介する。