講演情報
[8p-P01-26]カッティングマシンを用いたマスク作製による pn 接合形成の精度向上
〇(B)小林 奈和1、渡部 勝喜1、井戸川 槙之介1 (1.釧路工業高等専門学校)
キーワード：
マスク作製、pn接合、SOG
本研究は，カッティングマシンを用いたマスク作製における，pn接合形成の位置合わせ精度を改善し，半導体デバイスの集積度向上を目指した．マスクにはカプトンテープを用い，転写用治具でSi基板に貼付した後，SOG法による不純物拡散を行った．得られたデバイスの構造および電気特性を評価した結果，マスクの位置合わせ精度を安価に向上し，従来のカプトンテープを用いたマスク作製における集積度向上に寄与した．