[8p-P01-1~65] 1 応用物理学一般（ポスター）

[8p-P01-65] DCバイアススパッタ法を用いた基板への正イオン照射によるc軸平行配向ZnO膜の圧電性向上

〇吉田 侑矢¹、高柳 真司¹、柳谷 隆彦² (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：

酸化亜鉛、スパッタ法、横波型弾性波