講演情報
[8p-P05-2]Ⅲ-Ⅴ化合物半導体多接合太陽電池用のフォトルミネセンス同時スキャン技術とインライン検査
〇古川 晶一1、樗木 悠亮2、宮下 直也3、岡田 至崇2 (1.タカノ、2.東大先端研、3.電通大基盤理工)
キーワード:
Ⅲ-Ⅴ化合物半導体、多接合太陽電池、フォトルミネンス
本研究では、Ⅲ-Ⅴ化合物半導体多接合太陽電池のサブセルで生じるフォトルミネンス(PL)の画像化と同時スキャンを行うための光学手法、画像処理技術の検討を行った。サブセルのPL画像化評価において、励起光の放射照度に対して指数的な輝度変化が生じることを確認した。pn接合起因の現象と考えられるが、電気的な特性を直接的に求めることが難しいため、解析手法としての妥当性について議論したい。