[8p-P09-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[8p-P09-4] HfO₂/ZrO₂ナノラミネート薄膜の微構造解析

〇(M1)河村 龍¹、佐藤 幸生¹ (1.熊大半)

キーワード：

酸化ハフニウム、ナノラミネート薄膜、走査透過型電子顕微鏡

HfO₂とZrO₂を3層ずつ交互に積層したナノラミネート薄膜に対し、走査透過型電子顕微鏡（STEM）観察と電子エネルギー損失分光（EELS）測定を用いて結晶相を解析した。STEM観察では平均化処理と２段階アフィン変換による歪み補正を行い、格子面間隔の誤差を低減した。格子面間隔とO-K端EELSスペクトルのピーク形状から、上部と下部で異なる結晶相の存在が示唆された。