[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-13] Cuドープa-In₂O₃のMist CVD成長と電気的特性評価

〇(M1)飯塚 太郎¹、石川 諒¹、石川 治樹¹、永井 裕紀¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹、山口 智広¹ (1.工学院大学)

キーワード：

酸化インジウム、Mist CVD法、ドープ