講演情報

[8p-P10-21]合成石英基板上ZnO薄膜の高温アニールによる構造変化

〇前島 圭剛1、小湊 一颯1 (1.鹿児島大院理工)

キーワード:

酸化亜鉛、合成石英

酸化亜鉛の高温成膜において、基板との反応が品質の低下につながる可能性がある。本研究では、合成石英(SiO2)基板に注目し、ZnO/SiO2を高温でアニールすることにより、どのような膜の変化が起こるかを評価した。