2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8p-P10-21]
合成石英基板上ZnO薄膜の高温アニールによる構造変化
〇前島 圭剛
1
、小湊 一颯
1
(1.鹿児島大院理工)
キーワード:
酸化亜鉛、合成石英
酸化亜鉛の高温成膜において、基板との反応が品質の低下につながる可能性がある。本研究では、合成石英(SiO
2
)基板に注目し、ZnO/SiO
2
を高温でアニールすることにより、どのような膜の変化が起こるかを評価した。
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