[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-33] ナノシート酸化物半導体―電極界面における電子状態の膜厚依存性

〇黄 善彬¹、坂井 洸太³、髙橋 崇典²、上沼 睦典¹、右田 真司¹、浦岡 行治²、小林 正治³ (1.産総研、2.奈良先端大、3.東大生産研)

キーワード：

半導体の電子状態、ナノシート酸化物半導体、電極ー酸化物半導体界面