講演情報
[8p-S202-2]CMP過程のコンピュータシミュレーション
〇島田 敏宏1、横倉 聖也1、和泉 廣樹1 (1.北大工)
キーワード：
CMP、シミュレーション、分子動力学
CMPプロセスのコンピュータシミュレーションについて実例をもとに議論する。砥粒の衝撃と圧力の効果に加えて化学過程が関与するため、分子動力学計算と弾性・流体計算を組み合わせる必要がある。さらに、分子動力学計算で用いられる力場は経験的なものであるため、第一原理計算との比較も必要である。水分子の効果を見出しており、さらに過酸化水素等の添加について調べている。