[8p-S202-1~8] Lab to Fab：研究開発と量産を最速でつなぐ半導体DX

17:40 〜 18:25注目講演

[8p-S202-8] 300 mmウェハを見据えた2D/2.5Dマテリアルの量産化技術

〇吾郷 浩樹^1,2、ソリス-フェルナンデス パブロ¹ (1.九大院総理工、2.九大半導体セ)

キーワード：

2.5次元材料、2次元材料、化学蒸着法