講演情報

[8p-S202-8]300 mmウェハを見据えた2D/2.5Dマテリアルの量産化技術

〇吾郷 浩樹1,2、ソリス-フェルナンデス パブロ1 (1.九大院総理工、2.九大半導体セ)

キーワード:

2.5次元材料、2次元材料、化学蒸着法