講演情報
[9a-N102-4]高抵抗率単結晶シリコン基板上に形成されたテラヘルツ帯フォトニック集積回路用MEMS駆動可変光減衰器
〇千葉 滉平1、金森 義明1 (1.東北大工)
キーワード：
フォトニック集積回路、可変光減衰器、微小電気機械システム
6G通信向けテラヘルツ帯フォトニック集積回路において，低消費電力・低損失な可変光減衰器を実現するため，高抵抗率シリコン基板上にMEMSと導波路を集積化した素子を提案・実証した．従来報告と比べ消費電力を1/60以下，挿入損失を約1/5に抑えることに成功した．