[9a-N107-1~11] 6.4 薄膜新材料

9:00 〜 9:15

[9a-N107-1] 基板によるCr-Al薄膜の構造差異と荷重センサへの応用

〇青木 菜摘¹、津野 将弥¹、山本 明旦定²、橋本 佳男² (1.KOA(株)、2.信州大工)

キーワード：

力覚センサ、薄膜抵抗体、薄膜構造

我々は，セラミックを基材とし高いゲージ率を有するCr系薄膜を用いることで，幅広い荷重範囲に対応できる荷重センサを開発した．その特性は，使用する基板種やセンサ膜の膜厚によって異なることが確認された．様々な調査をおこなった結果，基板種や膜厚によって，薄膜の結晶構造や機械特性に差異が生じることが明らかとなり，それらが電気特性およびセンサ特性に影響を与えていることが示唆された．