講演情報
[9a-N107-5]Y/Te多層膜前駆体のその場熱処理によるYTe3薄膜の合成
〇木村 史希1、根岸 真通1、河底 秀幸2、福村 知昭1,3 (1.東北大理、2.都立大理、3.東北大 AIMR)
キーワード：
希土類テルル化物、薄膜成長、電気伝導
電荷密度波を示す層状テルル化物RTe3（R＝希土類）では、Teの高い蒸気圧が障害となり、薄膜合成が困難である。本研究では、前駆体[Te/Y]多層膜を堆積後にその場加熱することで、(010)配向のYTe3薄膜を合成した。様々な基板やバッファー層状にYTe3薄膜を合成することで、高い被覆率と良結晶性を両立した。講演では、薄膜合成の詳細とYTe3薄膜の電気伝導特性についても報告する。