[9a-N206-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

10:45 〜 11:00

[9a-N206-6] Si_0.7Ge_0.3/Si/Si_0.7Ge_0.3積層構造のCF₄/H₂プラズマエッチングにより形成したSiナノシートの欠陥評価

〇尾崎 孝太朗¹、今井 祐輔¹、今井 友貴¹、堤 隆嘉²、石川 健治²、山本 裕司^1,3、Wen Wei-Chen³、牧原 克典^1,3 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ、3.IHP)

キーワード：

Siナノシート