[9a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[9a-N301-1] グラフェン/SiC 基板上窒化物エピタキシャル薄膜の剥離に関する検討

〇(M2)富澤 真奈¹、ジョン ミンジェ¹、上野 耕平¹、潘 テン²、濱本 穂高²、竹本 圭佑²、江森 健太²、藤岡 洋¹ (1.東大生研、2.日産自動車)

キーワード：

パルススパッタ堆積法、二次元物質、窒化物薄膜