[9a-N301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30

[9a-N301-2] ナノチャンネルエピタキシーを用いた３元混晶AlGaNテンプレートの作製

〇成塚 重弥¹、高橋 拓也¹、松本 龍矢¹、長瀬 瑚海樹¹、丸山 隆浩¹ (1.名城大学)

キーワード：

ナノチャンネルエピタキシー、AlGaN、テンプレート基板