[9a-N302-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:00 〜 9:15

[9a-N302-1] <110>方位CZ-Si単結晶の転位挙動に対する結晶径変動の影響

〇松村 尚^1,2、斉藤 広幸¹、太子 敏則² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.信大工)

キーワード：

シリコン、転位