[9a-N302-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

11:30 〜 11:45

[9a-N302-10] 分子動力学によるSi_xGe_1-x結晶の熱伝導度解析

〇柿本 浩一¹ (1.東北大金研)

キーワード：

半導体、SiGe、シミュレーション

Si_xGe_1-x結晶は、GPU等のデバイスの能動層に使用されている。さらに昨今、高密度実装に伴うデバイスの発熱が問題となっている。本報告では、独自に開発した分子動力学(MD)コードを用いて、熱平衡下におけるSi_xGe_1-x結晶の熱伝導度を組成xに対して解析し、熱伝導度の組成、および原子配列に対する変化について検討を行った。