[9a-N302-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:15 〜 9:30

[9a-N302-2] Si(110)ウェーハ高温熱処理後表面形状の傾斜角度依存性

〇仙田 剛士¹、早川 兼¹、須藤 治生¹、松村 尚¹ (1.グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社)

キーワード：

傾斜角度、表面再構成、結晶方位

本研究では、高温熱処理を施した際の再構成Si (110)表面形状の、Si (110)からの表面傾斜角度依存性を調査した。この結果、傾斜方位である<100>に垂直な周期的構造が確認され、その表面は特徴的なトライアングル形状を示した。またこの形状は、傾斜角度に依存して変化した。