[9a-N302-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:45 〜 10:00

[9a-N302-4] Si (100) および (110) ウェーハの急速熱酸化におけるボイド欠陥消滅挙動

〇須藤 治生¹、早川 兼¹、仙田 剛士¹、松村 尚¹ (1.グローバルウェーハズ)

キーワード：

点欠陥、急速熱処理、ボイド欠陥