[9a-N307-1~11] CS.10 6.6 プローブ顕微鏡、12.2 評価・基礎物性のコードシェアセッション

11:45 〜 12:00

[9a-N307-11] 液中AFMを用いた半導体銅微細配線用防食膜のサブナノスケール構造解析

〇岡 大輝¹、林 海斗¹、宮田 一輝¹、宇野 恵²、高東 智佳子²、福間 剛士¹ (1.金沢大、2.荏原製作所)

キーワード：

半導体、CMP、3次元走査型力顕微鏡