講演情報
[9a-N322-5]OVPE法を用いたMgイオン注入GaNの大気圧活性化におけるAlN中間層
挿入の効果
〇宇佐美 茂佳1、伊藤 佑太2、横井 創吾1、田中 敦之3、滝野 淳一4、隅 智亮4、今西 正幸1、横山 正史5、秦 雅彦6、岡山 芳央4、本田 善央3、天野 浩3、森 勇介1 (1.阪大院工、2.名大院工、3.名大未来研、4.パナソニックホールディングス（株）、5.住友化学（株）、6.伊藤忠プラスチックス（株）)
キーワード：
OVPE法、GaN、Mgイオン注入
OVPE法、GaN、Mgイオン注入