講演情報

[9a-N322-7]パルスレーザアニールしたMgイオン注入GaNの低温PL評価

〇杉本 麻水1、大野 峻太郎1、西垣 有紘1、南 柚香2、寅丸 雅光2、新井 裕子2、島崎 好広2、神 好人2、冨田 一義3、今井 大地1、宮嶋 孝夫1 (1.名城大理工、2.日本製鋼所、3.名大IMaSS)

キーワード:

パルスレーザアニール、窒化ガリウム、フォトルミネッセンス