[9a-N403-1~11] 7.2 電子ビーム応用

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[9a-N403-10] 電子源からの放出電子のランダムサンプリング

〇岸田 一甫¹、早田 康成¹、村田 英一² (1.筑波大学数理、2.名城大理工)

キーワード：

電子源

走査電子顕微鏡の高分解能化には電子源の仮想光源径の縮小が重要である。本研究では、機械的誤差による光学収差を解析するため、境界電荷法を用いた電子軌道シミュレーションにおける放出電子の初期条件（位置、エネルギー、角度）を決定するランダムサンプリング手法を開発した。電子源の表面電場からFowlar-Nordheim式などを用いて各物理量の分布を算出しサンプリングした結果、シミュレーション結果は理論曲線と良好に一致した。