[9a-N403-1~11] 7.2 電子ビーム応用

9:45 〜 10:00

[9a-N403-4] SEMの反射電子エネルギーフィルターの製作と像演算によるバンドパス像の構築

〇関口 隆史¹、姚 遠昭¹、栁原 悠人²、熊谷 和博^1,3 (1.筑波大数理、2.光産業大、3.産総研)

キーワード：

反射電子、エネルギーフィルター、走査電子顕微鏡

我々は、バイアスグリッドを付けたMCP(Microchannel Plate)を使って、ハイパス反射電子(BSE)検出を試みている。これまでバイアスグリッドで低エネルギーBSEを除外してハイパス像を得ていたが、グリッド電圧の制約から1 kVが最大であった。そこで金属薄膜をフィルターとして使い、数kVのハイパスフィルターを実現させた。得られた画像に演算を施し、BSEのバンドパス像のエネルギー範囲を拡大することを試みている。