2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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10:30 〜 10:45
[9a-N403-6]
高繰り返しレーザーによる超高速時間分解SEMの高分解能化
〇三浦 研介
1
、岡本 ニコライ岳
1
、吉田 昭二
1
、藤田 淳一
1
、嵐田 雄介
1
(1.筑波大数理)
キーワード:
走査型電子顕微鏡、フェムト秒レーザー、空間電荷効果
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