講演情報

[9a-N403-6]高繰り返しレーザーによる超高速時間分解SEMの高分解能化

〇三浦 研介1、岡本 ニコライ岳1、吉田 昭二1、藤田 淳一1、嵐田 雄介1 (1.筑波大数理)

キーワード:

走査型電子顕微鏡、フェムト秒レーザー、空間電荷効果