[9a-P02-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[9a-P02-14] フッ化物薄膜/酸化物基板界面が及ぼす紫外光伝導特性への影響

〇日比野 孝太¹、丸山 祐樹¹、小沢 楽人¹、浅香 透¹、瀬戸 しずか¹、松原 孝至¹、岩坂 彩子¹、櫻井 陽子¹、山ノ井 航平²、Kohout Michal³、Raduban Marilou^2,4、Olejnicek Jiri³、小野 晋吾¹ (1.名工大、2.阪大レーザー研、3.Czech Academy of Sciences、4.Massey Univ.)

キーワード：

フッ化物薄膜、界面、光センサ

半導体洗浄や表面改質に用いられる高エネルギー紫外線の需要拡大に伴い、安定かつ長時間動作可能な高耐久な紫外光検出器の需要も拡大している。これまで我々は、フッ化物材料に着目し光伝導型UVセンサの開発を進めてきた。本研究ではそのセンサ性能のさらなる向上に加え、ヘテロ接合デバイス開発において重要となるフッ化物薄膜と酸化物基板界面の挙動について調査した。