講演情報
[9a-P06-1]石英のDeep RIEにおけるArガス添加によるエッチピットの抑制
〇吉田 一樹1、山田 直也1、矢作 徹1、加藤 睦人1 (1.山形工技セ)
キーワード：
エッチピット、RIE、石英
CF4プラズマを用いた石英のDeep RIEにおいて、Arガス添加によるエッチピット低減効果とエッチングレートへの影響を評価した。Arガス添加によってエッチピットの形成が抑制され、加工面の平滑性が向上した。これはプロセス中に発生したマイクロマスクの除去に起因するものと予想している。またガス組成によるエッチングレートの変化も確認し、エッチピット低減と加工効率を両立できる条件について検討した。