講演情報
[9a-P06-3]カーボン系材料を1％KOH水溶液に混合させた場合の単結晶Siのエッチング特性
〇木村 謙吾1、田中 浩1 (1.愛知工業大工)
キーワード：
ウェットエッチング、カーボン、シリコン
本研究では、カーボン系材料を1％KOH水溶液に混合させ、そのときのエッチング特性を調査した。実験にはダイヤモンド、黒鉛、グラフェン、酸化グラフェン、カーボンナノチューブの5種類のカーボン系材料を使用した。極低濃度の1％KOH水溶液にカーボン材料を混合させると、ダイヤモンドを除く4種類のカーボン系材料でSi(100)面のエッチング速度が1％KOHのみの場合よりも向上することがわかった。