[9a-S102-1~7] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

9:45 〜 10:00

[9a-S102-2] 受光部最適化による半導体型CNTを用いたMEMSボロメータの高感度化

〇田中 朋¹、佐野 雅彦¹、野口 将高^1,2、宮本 俊江^1,2、金折 恵²、弓削 亮太^1,2 (1.日本電気、2.産総研)

キーワード：

カーボンナノチューブ、MEMS、赤外線検出器アレイ