[9a-S203-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

10:45 〜 11:00

[9a-S203-7] 応答曲面法によるナノシートGAAFET のデバイス設計

〇福田 浩一¹、二宮 真理子¹、服部 淳一¹、林 喜宏¹ (1.産総研)

キーワード：

半導体、ナノシート、デバイスシミュレーション

デバイスシミュレーションを用いた応答曲面法によりナノシートGAAFETのデバイスパラメータ依存性からデバイス設計指針を得た