[9p-N101-1~10] 【一般公開】先端ロジック半導体とその周辺技術

14:35 〜 15:05

[9p-N101-4] ポストCu配線技術の動向と裏面配線対応の展望

〇井上 史大¹ (1.横浜国大)

キーワード：

BEOL、BSPDN