[9p-N103-1~12] 軟Ｘ線多層膜が拓く短波長Beyond EUVリソグラフィー技術

17:05 〜 17:20

[9p-N103-10] ニュースバル放射光施設におけるBEUV評価技術の開発

〇原田 哲男¹、棚木 智也¹、早勢 直紀¹、山川 進二¹ (1.兵県大)

キーワード：

BEUVリソグラフィー、ニュースバル放射光施設

Beyond EUV（BEUV）リソグラフィーに向け、ニュースバル放射光施設では波長6.7 nm領域に対応した反射率計やパターニング装置などの測定技術の開発を進めている。高次光除去機構を備えた反射率計により多層膜の精密評価が可能となり、安定性の高いC/B系多層膜の開発も行っている。さらに、BEUVレジストの感度測定装置や干渉露光装置も整備し、BEUV技術の基盤構築を支援している。